BREVA六自由度定位平臺經過專門設計,可提供高角度精度。 它允許以 0.5 µm 或 2.5 µrad 的分辨率對樣品、探針或傳感器等物體進行角度定位。
BREVA六自由度平臺可用于任何方向:垂直、水平、倒置……
BREVA精密定位六自由度平臺產品特點:采用絕對值無刷伺服電機,最大負載500KG,分辨率1.5urad,重復定位精度0.5um。
BREVA hexapod has been specially designed to provide high angular accuracy. It allows angular positioning of objects like samples, probes or sensors with a resolution of 0.5 µm or 2.5 µrad.
BREVA hexapod can be used in any orientation: vertical, horizontal, upside down…